(1) シリコンウェーハを高温加熱した中にシリコン化合物の蒸気と水素を送り込み、
n形やp形のシリコンの層を成長させることを
成長という。
成長させた表面を
でおおって保護し、必要に応じホトエッチングで部分的に除去して素子をつくったり、
配線を施したりして集積回路(IC)を構成する。
(2) 抵抗やコンデンサ,トランジスタなどを一つのシリコンチップに形成する集積回路を
ICといい,
このように一つの平面上に素子をつくることを
構造という。
これに対して、回路素子を混成して組み込み、脂で固めた集積回路を
ICという。
(3) モノリシックICは、使用するトランジスタの種類によって構造上大きく二つに分類されている。
MOS ICは、MOS
を中心としてつくられた集積回路で、
とくにpチャネルとnチャネルを相補形に組み合わせたものを
MOS IC という。
ICはトランジスタを中心としてつくられた集積回路で、同じ機能をもつ MOS ICに比べて
は大きい。
番外編
(1) バイポーラ IC
特徴
、
(2) CMOS IC
特徴
、
【電子回路】集積回路
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